半导体器件测试系统脉冲大电流源校准装置整套校准装置主要包括:高速数据采集单元 NI4071、数字示波器 TDS320、电流探头 N2781A、N2783A、测试适配器(一系列,内有精密四线电阻)组成。本文将采用脉冲测量标准器法对脉冲电流幅度进行校准。脉冲大电流源脉冲电流幅度的校准连接如图 1 所示。
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